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自己換算 無塵室潔凈度分級

時間:2020-07-03  來源:車間凈化工程|食品凈化車間|潔凈手術室|潔凈實驗室-濟南順奇凈化工程有限公司  瀏覽次數: 104 次
文章簡介:自己換算 無塵室潔凈度分級,       半導體工業是極精密的工業,當我們把計算機拆開之后,在電路板上一顆顆小小的IC都有數百萬顆甚至數千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工

      半導體工業是極精密的工業,當我們把計算機拆開之后,在電路板上一顆顆小小的IC都有數百萬顆甚至數千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工作,制造的過程必須在無塵室內進行,集成電路制造的工廠動輒需要數十億、數百億的投資,多因為需要一個無塵室。  

   所謂的無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路技術的快速成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔靜度的需求,在工業上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。  

   由于奈米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。  

   依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5?m,例如,1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5?m,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2?m(塵粒尺寸在0.2?m或更大下,密度不大于75顆/立方英?),1級在0.1?m(塵粒尺寸在0.1?m或更大下,密度不大于35顆/立方英)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。  

   為保持無塵室的潔凈度,進出的人員有一定的穿著規定;10000與100000級,必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩;1000級(含)以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,并帶上手套和面罩,下表為無塵室清潔度的 

   定義:  
   塵粒數/立方英  
   級數 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm  
      1 35 7.5 3 1 N/A  
      10 350 75 30 10 N/A  
      100 N/A 750 300 100 N/A  
      1000 N/A N/A N/A 1000 7  
      10000 N/A N/A N/A 10000 70  
      100000 N/A N/A N/A 100000 700

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